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xingxingzi

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[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？已有1人参与

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最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？

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1楼 2012-10-08 21:02:21

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torrxi

银虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39

我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧，只是烘干的话70~90℃都差不多，不到100℃。不过我有时会升到170左右。

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2楼2012-10-08 21:27:36

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lilifefe

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引用回帖:

2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

PMMA直接溶在99%氯苯中么？

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9楼2015-04-25 16:49:22

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