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xingxingzi

新虫 (小有名气)

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[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？

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1楼 2012-10-08 21:02:21

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leon_chen

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【答案】应助回帖

还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？
--》这种厚度就用光学的干涉仪，或者原子力显微镜。

6楼2012-10-17 15:38:33

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