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xingxingzi

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜? 已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜,实验室没有现成买好的,所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中,发现很难溶解,请教各位如何制备PMMA溶液?
此外,请教一下各位旋涂工艺,旋涂完后烘烤温度等工艺?
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torrxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧,0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧,具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的,4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧,只是烘干的话70~90℃都差不多,不到100℃。不过我有时会升到170左右。
2楼2012-10-08 21:27:36
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lilifefe

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧,0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧,具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的,4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

PMMA直接溶在99%氯苯中么?
9楼2015-04-25 16:49:22
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普通回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧,0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧,具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的,4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

嗯,谢谢你,我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟,请问这有什么区别呢?还有一个疑问,就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度?
3楼2012-10-09 08:48:36
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torrxi

银虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯,谢谢你,我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟,请问这有什么区别呢?还有一个疑问,就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度?...

好像100摄氏度以下只是烘干(dried)处理,比较高的温度可能是有什么别的作用吧(cured),不是特别清楚。测量的话我没测过,见到报道的有SEM和ellipsometry。
4楼2012-10-09 20:13:51
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

5楼2012-10-15 17:09:23
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leon_chen

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

还有一个疑问,就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度?
--》这种厚度就用光学的干涉仪,或者原子力显微镜。
6楼2012-10-17 15:38:33
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xingxingzi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-15 17:09:23
楼主为什么一定要100nm的PMMA膜

实验要求呢,确实有点薄,不知道成膜性能咋样
7楼2012-10-18 10:56:25
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

ciompman: 编辑内容 2012-10-19 14:12
本帖内容被屏蔽

8楼2012-10-18 12:53:38
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xingxingzi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by lilifefe at 2015-04-25 16:49:22
PMMA直接溶在99%氯苯中么?...

对,买的pmma粉末,要磁力搅拌加速溶解

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2015-04-26 12:21:06
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