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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？
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xingxingzi

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？ 已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？
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1楼 2012-10-08 21:02:21
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xingxingzi

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-15 17:09:23
楼主为什么一定要100nm的PMMA膜

实验要求呢，确实有点薄，不知道成膜性能咋样
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7楼2012-10-18 10:56:25
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torrxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧，只是烘干的话70~90℃都差不多，不到100℃。不过我有时会升到170左右。
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2楼2012-10-08 21:27:36
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xingxingzi

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？
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3楼2012-10-09 08:48:36
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torrxi

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？...

好像100摄氏度以下只是烘干（dried）处理，比较高的温度可能是有什么别的作用吧（cured），不是特别清楚。测量的话我没测过，见到报道的有SEM和ellipsometry。
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4楼2012-10-09 20:13:51
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