应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 3604  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？ 已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-10-08 21:02:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？
赞一下 回复此楼
3楼2012-10-09 08:48:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

torrxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧，只是烘干的话70~90℃都差不多，不到100℃。不过我有时会升到170左右。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-10-08 21:27:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

torrxi

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？...

好像100摄氏度以下只是烘干（dried）处理，比较高的温度可能是有什么别的作用吧（cured），不是特别清楚。测量的话我没测过，见到报道的有SEM和ellipsometry。
赞一下 回复此楼
4楼2012-10-09 20:13:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
5楼2012-10-15 17:09:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 303求调剂 +5 DLkz1314. 2026-03-30 5/250 2026-03-30 15:20 by 159357hjz
[考研] 346求调剂 一志愿070303有机化学 +5 萝卜炖青菜 2026-03-28 6/300 2026-03-30 14:32 by limeifeng
[考研] 一志愿南航 335分 | 0856材料化工 | GPA 4.07 | 有科研经历 +8 cccchenso 2026-03-23 8/400 2026-03-30 14:14 by w虫虫123
[考研] 277跪求调剂 +7 1915668 2026-03-27 11/550 2026-03-30 12:49 by fangnagu
[硕博家园] 求调剂 有机化学考研356分 +10 Nadiums 2026-03-25 11/550 2026-03-30 11:56 by yjolah
[有机交流] 考研调剂 +5 watb 2026-03-26 5/250 2026-03-30 11:51 by yjolah
[考研] 297求调剂 +13 田洪有 2026-03-26 13/650 2026-03-30 11:33 by 替代品000
[考研] 085601材料工程找调剂 +16 oatmealR 2026-03-29 17/850 2026-03-30 11:04 by w虫虫123
[考研] 一志愿河北工业大学0817化工278分求调剂 +14 jhybd 2026-03-23 19/950 2026-03-30 10:34 by vgtyfty
[考研] 求收留 +5 1943443204 2026-03-28 5/250 2026-03-29 12:11 by 无际的草原
[考研] 085600，专业课化工原理，321分求调剂 +5 大馋小子 2026-03-28 5/250 2026-03-29 08:56 by qingfeng258
[考研] 复试调剂 +3 raojunqi0129 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:27 by 落睿可思
[考研] 328求调剂 +7 嗯滴的基本都 2026-03-27 7/350 2026-03-28 04:19 by fmesaito
[考研] 315分求调剂 +7 26考研上岸版26 2026-03-26 7/350 2026-03-28 04:05 by fmesaito
[考研] 0703化学求调剂，各位老师看看我！！！ +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考研] 085600，材料与化工321分调剂 +4 大馋小子 2026-03-27 6/300 2026-03-27 14:11 by 松花缸1201
[考研] 材料调剂 5+4 想要一壶桃花水 2026-03-25 10/500 2026-03-26 19:56 by 不吃魚的貓
[考研] 289求调剂 +17 硕星赴 2026-03-23 17/850 2026-03-26 16:18 by 不吃魚的貓
[考研] 334分 一志愿武理-080500 材料求调剂 +4 李李不服输 2026-03-25 4/200 2026-03-25 21:26 by 星空星月
[考研] 290分调剂求助 +3 吉祥止止陈 2026-03-25 3/150 2026-03-25 19:58 by barlinike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭