24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 3605  |  回复: 13
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜? 已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜,实验室没有现成买好的,所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中,发现很难溶解,请教各位如何制备PMMA溶液?
此外,请教一下各位旋涂工艺,旋涂完后烘烤温度等工艺?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

torrxi

银虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯,谢谢你,我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟,请问这有什么区别呢?还有一个疑问,就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度?...

好像100摄氏度以下只是烘干(dried)处理,比较高的温度可能是有什么别的作用吧(cured),不是特别清楚。测量的话我没测过,见到报道的有SEM和ellipsometry。
4楼2012-10-09 20:13:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

torrxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧,0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧,具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的,4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧,只是烘干的话70~90℃都差不多,不到100℃。不过我有时会升到170左右。
2楼2012-10-08 21:27:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧,0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧,具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的,4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

嗯,谢谢你,我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟,请问这有什么区别呢?还有一个疑问,就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度?
3楼2012-10-09 08:48:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

5楼2012-10-15 17:09:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +6 JKSOIID 2026-03-26 6/300 2026-03-30 19:06 by Wang200018
[考研] 0703一志愿9,初试成绩:338,四六级已过,有科研经历,求调剂! +7 Zuhui0306 2026-03-25 7/350 2026-03-30 19:01 by 源_2020
[考研] 266分,求材料相关专业调剂 +4 哇呼哼呼哼 2026-03-30 5/250 2026-03-30 18:09 by 哇呼哼呼哼
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
[考研] 0703 化学 求调剂,一志愿山东大学 342 分 +7 Shern—- 2026-03-28 7/350 2026-03-30 16:31 by nothing投稿中
[考研] 生物技术与工程 +7 1294608413 2026-03-25 8/400 2026-03-30 11:36 by 唐沐儿
[考研] 085404求调剂,总分309,本科经历较为丰富 +6 来财aa 2026-03-25 6/300 2026-03-30 09:48 by 青海小西牛
[考研] 070305高分子化学与物理 304分求调剂 +12 c297914 2026-03-28 12/600 2026-03-29 16:21 by Serene1974
[考研] 一志愿北京理工大学本科211材料工程294求调剂 +8 mikasa的围巾 2026-03-28 8/400 2026-03-29 12:48 by 无际的草原
[考研] 330分求调剂 +5 qzenlc 2026-03-29 5/250 2026-03-29 07:37 by 无际的草原
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +6 崔wj 2026-03-26 6/300 2026-03-29 01:11 by hanserlol
[考研] 356求调剂 +3 gysy?s?a 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:33 by 544594351
[考研] 学硕274求调剂 +9 Li李鱼 2026-03-26 9/450 2026-03-28 21:42 by bymhappy
[考研] 0703化学求调剂,各位老师看看我!!! +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考研] 一志愿上海理工能源动力(085800)310分求调剂 +3 zhangmingc 2026-03-27 4/200 2026-03-27 19:01 by 给你你注意休息
[硕博家园] 北京林业大学硕导招生广告 +6 kongweilin 2026-03-26 8/400 2026-03-27 10:18 by FF_16
[考研] 调剂求收留 +7 果然有我 2026-03-26 7/350 2026-03-27 00:26 by wxiongid
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 各位老师您好:本人初试372分 +5 jj涌77 2026-03-25 6/300 2026-03-25 14:15 by mapenggao
[考研] 347求调剂 +4 L when 2026-03-25 4/200 2026-03-25 13:37 by cocolv
信息提示
请填处理意见