应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 3603  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？ 已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-10-08 21:02:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)
ciompman: 编辑内容 2012-10-19 14:12
本帖内容被屏蔽
8楼2012-10-18 12:53:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

torrxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xingxingzi: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-10-09 18:22:39
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度似乎没个特别的定值吧，只是烘干的话70~90℃都差不多，不到100℃。不过我有时会升到170左右。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-10-08 21:27:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xingxingzi

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by torrxi at 2012-10-08 21:27:36
我们用的PMMA是溶在氯苯中的。旋涂的话其厚度还与浓度有关吧，0.1%左右8000r/min旋涂2~3min的话厚度好像就几个nm吧，具体的要测一下才知道。也有溶在苯甲醚中的，4%的浓度5000r/min转1min厚度~100nm。后续烘干的温度 ...

嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？
赞一下 回复此楼
3楼2012-10-09 08:48:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

torrxi

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？...

好像100摄氏度以下只是烘干（dried）处理，比较高的温度可能是有什么别的作用吧（cured），不是特别清楚。测量的话我没测过，见到报道的有SEM和ellipsometry。
赞一下 回复此楼
4楼2012-10-09 20:13:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +7 研研，接电话 2026-03-24 8/400 2026-03-30 14:14 by 白云朵朵飞
[考研] 279求调剂 +6 j的立方 2026-03-29 6/300 2026-03-30 11:46 by 松花缸1201
[考研] 南京大学化学调剂 +10 景随风 2026-03-29 15/750 2026-03-30 11:21 by limeifeng
[考研] 求化学调剂 +11 wulanna 2026-03-28 11/550 2026-03-30 10:59 by 探123
[考研] 材料与化工272求调剂 +21 阿斯蒂芬2004 2026-03-28 21/1050 2026-03-30 10:52 by 晴空210210
[考研] 318求调剂 +7 陈晨79 2026-03-30 7/350 2026-03-30 10:49 by 探123
[考研] 085404求调剂，总分309，本科经历较为丰富 +6 来财aa 2026-03-25 6/300 2026-03-30 09:48 by 青海小西牛
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +8 柳溪边 2026-03-26 8/400 2026-03-29 20:42 by 唐沐儿
[考研] 【求调剂】085601材料工程专硕 | 总分272 | +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-29 20:21 by dophin1985
[考研] 298求调剂 +4 种圣赐 2026-03-28 4/200 2026-03-29 08:42 by q1092522407
[考博] 26申博 +3 加油冲啊！ 2026-03-26 3/150 2026-03-27 15:38 by cls512
[考研] 一志愿郑大085600，310分求调剂 +5 李潇可 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:14 by 不吃魚的貓
[考研] 0703化学338求调剂！ +6 Zuhui0306 2026-03-26 7/350 2026-03-27 10:35 by shangxh
[考研] 求调剂323材料与化工 +7 1124361 2026-03-24 7/350 2026-03-27 10:22 by wangjy2002
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 一志愿哈工大，085400，320，求调剂 +4 gdlf9999 2026-03-24 4/200 2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 材料专硕 335 分求调剂 +4 拒绝冷暴力 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:45 by haxia
[考研] 求b区院校调剂 +4 周56 2026-03-24 5/250 2026-03-25 17:12 by yishunmin
[考研] 347求调剂 +4 L when 2026-03-25 4/200 2026-03-25 13:37 by cocolv
[考研] 300分，材料，求调剂，英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭