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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石英玻璃上能否用光刻方法？
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胡学鹿

铜虫 (初入文坛)

[求助] 石英玻璃上能否用光刻方法？

实验中，想在石英玻璃上光刻一些图形，试了好多次都不成功。匀胶后玻璃上有胶，曝光显影后都没了。求大神指教原因和改进方法。
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跳跳s兔
1楼 2013-06-18 17:12:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
胡学鹿: 金币+8, ★★★很有帮助 2013-06-20 08:04:57
这个是明显的漂胶，要用HMDS做增粘，如果还不行，就换一种胶。
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2楼2013-06-19 17:11:56
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胡学鹿

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-06-19 17:11:56
这个是明显的漂胶，要用HMDS做增粘，如果还不行，就换一种胶。

是的，昨天换了ITO试了一下，效果好多了，谢谢！！
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跳跳s兔
3楼2013-06-20 07:56:22
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罗军王

银虫 (初入文坛)
请问你以前用的是什么胶？
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多看多读多学习
4楼2014-02-27 17:16:11
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