应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 在硅基材料上加工纳米孔
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
221/3返回列表123下一页
查看: 1823  |  回复: 21
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题，要加工一个10-20nm的单孔，用光刻机能加工吗？或者要用什么仪器，什么方法？灰常感谢~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
~
1楼 2012-03-12 15:05:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-12 16:42:05:
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。

还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽：小于10nm（8nm available)
2. 加速电压：1-50kV
3. 电子束直径：小于2nm
4. 套刻精度：20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度：20nm(mean+2σ)
6. 加工晶圆尺寸：4-8 英寸(standard)，12 英寸(option)
7. 描电镜分辨率：小于2nm
----------------------------------
这个2nm是不是就是可加工的大小啊，这个能不能加工我想要的孔了
赞一下(1人) 回复此楼
~
4楼2012-03-12 18:12:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

zlxsk00

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 非常感谢 样品是50nm左右厚 大小没什么限制 2012-03-12 18:03:59
本帖内容被屏蔽
2楼2012-03-12 16:26:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 谢谢 金刚石探针是指的是用原子力显微镜吗？ 2012-03-12 18:08:17
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。
赞一下 回复此楼
候补中年人
3楼2012-03-12 16:42:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-12 18:12:59:
还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽：小于10nm（8nm available)
2. 加速电压：1-50kV
3. 电子束直径：小于2nm
4. 套刻精度：20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度：20n ...

学习了，加工技术发展真的很快。如果能找到这样的设备当然可以尝试。
我说的是AFM，也可以试试
赞一下 回复此楼
候补中年人
5楼2012-03-12 19:12:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻机必然不行，精度不够。
赞一下 回复此楼
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
6楼2012-03-14 04:29:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)
光刻机不可以，20nm目前是极限
赞一下 回复此楼
7楼2012-03-14 08:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by myIDname at 2012-03-14 04:29:29:
光刻机必然不行，精度不够。

麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
~
8楼2012-03-14 10:07:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-03-14 08:07:55:
光刻机不可以，20nm目前是极限

麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
~
9楼2012-03-14 10:09:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工
引用回帖:
8楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 10:07:54:
麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗？

你说的这个仪器我还真不熟悉。这么着吧兄弟，你把可能的方法列出来，然后询问哪些院所公司有这些仪器，再挨个问下能做不。很多时候他们的建议更专业。祝好运。
赞一下 回复此楼
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
10楼2012-03-14 10:12:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 天马翔空 的主题更新
221/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料求调剂 +8 一样YWY 2026-04-05 8/400 2026-04-05 20:41 by 南航~万老师
[考研] 一志愿郑州大学085600求调剂 +7 吃的不少 2026-04-05 8/400 2026-04-05 20:33 by lqwchd
[考研] 348求调剂 +3 车厘子zzz 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:30 by 啵啵啵0119
[考研] 材料调剂 +5 一样YWY 2026-04-05 5/250 2026-04-05 20:23 by 南航~万老师
[考研] 295求调剂 +8 FZAC123 2026-04-03 8/400 2026-04-05 17:46 by 蓝云思雨
[考研] 282求调剂 +3 aaa车辆 2026-04-01 3/150 2026-04-05 17:03 by yulian1987
[考研] 0703总分331求调剂 +10 ZY-05 2026-04-04 13/650 2026-04-05 11:03 by xiayan13521
[考研] 调剂 +8 熊二想上岸 2026-04-04 8/400 2026-04-05 05:27 by houyaoxu
[考研] 一志愿安徽某211 0703化学总分339求调剂 +6 晚风不晚 2026-04-04 6/300 2026-04-04 20:11 by dongzh2009
[考研] 总分328生物与医药考数学求调剂 +7 aaadim 2026-04-02 9/450 2026-04-03 22:53 by syh9288
[考研] 281求调剂 +10 aaawhy 2026-04-03 10/500 2026-04-03 21:42 by lbsjt
[考研] 274求调剂 +9 顺理成张 2026-04-03 10/500 2026-04-03 15:10 by 啊俊！
[考研] 初试成绩337找调剂 +3 ??? ?. ? 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:43 by 土木硕士招生
[考研] 285求调剂 +7 AZMK 2026-04-02 9/450 2026-04-03 11:12 by wanwan00
[考研] 环境工程297分求调剂一志愿杭高院 +15 GENJIOW 2026-03-31 16/800 2026-04-02 17:56 by cyh—315
[考研] 271求调剂 +15 勒布朗@ 2026-03-31 20/1000 2026-04-02 11:24 by Sammy2
[考研] 一志愿西安交大材料学硕（英一数二）347，求调剂到高分子/材料相关专业 +7 zju51 2026-03-31 9/450 2026-04-01 19:35 by CFQZAFU
[考研] 0703一志愿南师大334求调剂 +4 seven7yu 2026-03-30 4/200 2026-04-01 16:10 by oooqiao
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ，080500材料科学与工程学硕 +10 @taotao 2026-03-31 11/550 2026-04-01 09:43 by xiayizhi
[考研] 吉大生物学326分求调剂 +3 sunnyupup 2026-03-31 3/150 2026-03-31 09:28 by longlotian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭