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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 在硅基材料上加工纳米孔
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by myIDname at 2012-03-14 10:12:39:
你说的这个仪器我还真不熟悉。这么着吧兄弟，你把可能的方法列出来，然后询问哪些院所公司有这些仪器，再挨个问下能做不。很多时候他们的建议更专业。祝好运。

好的，我们有这个机器，我还是先把它原理弄明白吧，非常感谢
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11楼2012-03-14 10:41:59
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
即使你的设备可以还有个问题啊，要做通孔吗？还是一个坑？有多深？你都没说啊。楼上说的你样品厚度？
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12楼2012-03-14 14:50:24
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by maccaboy at 2012-03-14 14:50:24:
即使你的设备可以还有个问题啊，要做通孔吗？还是一个坑？有多深？你都没说啊。楼上说的你样品厚度？

你好，是要在50nm厚的基片上加工一个20nm厚的通孔，你有方法吗
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13楼2012-03-14 22:41:51
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 22:41:51:
你好，是要在50nm厚的基片上加工一个20nm厚的通孔，你有方法吗

通孔的话深度就是基片的厚度？是硅片吗？50nm厚的硅片？
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14楼2012-03-15 07:52:06
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yangguang53

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
什么样的光刻机都达不到这个精度，再说了，哪怕是50nm技术含量也很高了，关键是你去哪里做呢？一般的企业根本就没有这种高精度的光刻机，这种光刻机貌似全球就那么一台，还在欧洲，你有这个能力吗？
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15楼2012-03-15 08:04:05
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by maccaboy at 2012-03-15 07:52:06:
通孔的话深度就是基片的厚度？是硅片吗？50nm厚的硅片？

我说错了
是在50nm厚的材料上打20nm大的（圆的方的都行）通孔
材料的话  si基材料什么的都行（不知道有没有这么厚的？）
或者用沉积薄膜也行

刚刚问设备管理老师了  那个光刻机的胶是专用的，只能做200nm厚的膜，孔大小最小能做到40nm=。=
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16楼2012-03-15 16:10:25
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-03-15 08:04:05:
什么样的光刻机都达不到这个精度，再说了，哪怕是50nm技术含量也很高了，关键是你去哪里做呢？一般的企业根本就没有这种高精度的光刻机，这种光刻机貌似全球就那么一台，还在欧洲，你有这个能力吗？

应该很多吧  我们实验室就有一台啊   刚问了  这个光刻机只能做到4onm=。=
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17楼2012-03-15 16:11:54
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-12 16:42:05:
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。

金刚石探针是不是很贵啊
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18楼2012-03-15 18:21:18
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songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-15 18:21:18:
金刚石探针是不是很贵啊

从国外订购到自己手大约8000元一根。国内就不知道了。我用的是micro star公司的
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候补中年人
19楼2012-03-15 20:17:18
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-15 20:17:18:
从国外订购到自己手大约8000元一根。国内就不知道了。我用的是micro star公司的

好的  非常感谢：）
先试试其他方法  不行的话就得卖了
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20楼2012-03-15 20:40:57
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