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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 在硅基材料上加工纳米孔
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天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题，要加工一个10-20nm的单孔，用光刻机能加工吗？或者要用什么仪器，什么方法？灰常感谢~
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1楼 2012-03-12 15:05:17
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
即使你的设备可以还有个问题啊，要做通孔吗？还是一个坑？有多深？你都没说啊。楼上说的你样品厚度？
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12楼2012-03-14 14:50:24
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 22:41:51:
你好，是要在50nm厚的基片上加工一个20nm厚的通孔，你有方法吗

通孔的话深度就是基片的厚度？是硅片吗？50nm厚的硅片？
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14楼2012-03-15 07:52:06
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