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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 在硅基材料上加工纳米孔
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天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题，要加工一个10-20nm的单孔，用光刻机能加工吗？或者要用什么仪器，什么方法？灰常感谢~
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1楼 2012-03-12 15:05:17
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 22:41:51:
你好，是要在50nm厚的基片上加工一个20nm厚的通孔，你有方法吗

通孔的话深度就是基片的厚度？是硅片吗？50nm厚的硅片？
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14楼2012-03-15 07:52:06
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zlxsk00

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 非常感谢 样品是50nm左右厚 大小没什么限制 2012-03-12 18:03:59
本帖内容被屏蔽
2楼2012-03-12 16:26:11
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songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 谢谢 金刚石探针是指的是用原子力显微镜吗？ 2012-03-12 18:08:17
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。
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候补中年人
3楼2012-03-12 16:42:05
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-12 16:42:05:
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。

还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽：小于10nm（8nm available)
2. 加速电压：1-50kV
3. 电子束直径：小于2nm
4. 套刻精度：20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度：20nm(mean+2σ)
6. 加工晶圆尺寸：4-8 英寸(standard)，12 英寸(option)
7. 描电镜分辨率：小于2nm
----------------------------------
这个2nm是不是就是可加工的大小啊，这个能不能加工我想要的孔了
赞一下(1人) 回复此楼
~
4楼2012-03-12 18:12:59
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