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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 在硅基材料上加工纳米孔
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天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题，要加工一个10-20nm的单孔，用光刻机能加工吗？或者要用什么仪器，什么方法？灰常感谢~
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~
1楼 2012-03-12 15:05:17
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-12 16:42:05:
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。

还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽：小于10nm（8nm available)
2. 加速电压：1-50kV
3. 电子束直径：小于2nm
4. 套刻精度：20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度：20nm(mean+2σ)
6. 加工晶圆尺寸：4-8 英寸(standard)，12 英寸(option)
7. 描电镜分辨率：小于2nm
----------------------------------
这个2nm是不是就是可加工的大小啊，这个能不能加工我想要的孔了
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4楼2012-03-12 18:12:59
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普通回帖

zlxsk00

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 非常感谢 样品是50nm左右厚 大小没什么限制 2012-03-12 18:03:59
本帖内容被屏蔽
2楼2012-03-12 16:26:11
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songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 谢谢 金刚石探针是指的是用原子力显微镜吗？ 2012-03-12 18:08:17
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话，直接用金刚石探针磨穿吧。
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候补中年人
3楼2012-03-12 16:42:05
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songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-12 18:12:59:
还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽：小于10nm（8nm available)
2. 加速电压：1-50kV
3. 电子束直径：小于2nm
4. 套刻精度：20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度：20n ...

学习了，加工技术发展真的很快。如果能找到这样的设备当然可以尝试。
我说的是AFM，也可以试试
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候补中年人
5楼2012-03-12 19:12:45
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻机必然不行，精度不够。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
6楼2012-03-14 04:29:29
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yangguang53

金虫 (小有名气)
光刻机不可以，20nm目前是极限
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7楼2012-03-14 08:07:55
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by myIDname at 2012-03-14 04:29:29:
光刻机必然不行，精度不够。

麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2012-03-14 10:07:54
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天马翔空

银虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-03-14 08:07:55:
光刻机不可以，20nm目前是极限

麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2012-03-14 10:09:11
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工
引用回帖:
8楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 10:07:54:
麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗？

你说的这个仪器我还真不熟悉。这么着吧兄弟，你把可能的方法列出来，然后询问哪些院所公司有这些仪器，再挨个问下能做不。很多时候他们的建议更专业。祝好运。
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10楼2012-03-14 10:12:39
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