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天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题,要加工一个10-20nm的单孔,用光刻机能加工吗?或者要用什么仪器,什么方法?灰常感谢~
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
光刻机必然不行,精度不够。
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
6楼2012-03-14 04:29:29
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

引用回帖:
8楼: Originally posted by 天马翔空 at 2012-03-14 10:07:54:
麻烦你看下上面我说的电子束光刻机精度够吗?

你说的这个仪器我还真不熟悉。这么着吧兄弟,你把可能的方法列出来,然后询问哪些院所公司有这些仪器,再挨个问下能做不。很多时候他们的建议更专业。祝好运。
我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
10楼2012-03-14 10:12:39
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