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天马翔空

银虫 (著名写手)

[求助] 求助 在硅基材料上加工纳米孔

如题,要加工一个10-20nm的单孔,用光刻机能加工吗?或者要用什么仪器,什么方法?灰常感谢~
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yangguang53

金虫 (小有名气)


光刻机不可以,20nm目前是极限
7楼2012-03-14 08:07:55
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查看全部 22 个回答

zlxsk00

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 非常感谢 样品是50nm左右厚 大小没什么限制 2012-03-12 18:03:59
本帖内容被屏蔽

2楼2012-03-12 16:26:11
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songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天马翔空(金币+4): ★★★很有帮助, 谢谢 金刚石探针是指的是用原子力显微镜吗? 2012-03-12 18:08:17
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话,直接用金刚石探针磨穿吧。
候补中年人
3楼2012-03-12 16:42:05
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天马翔空

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by songsongsong443 at 2012-03-12 16:42:05:
光刻没有那么高的分辨率达不到10-20nm。如果样品几十纳米厚的话,直接用金刚石探针磨穿吧。

还有  电子束光刻机 CABL-9000C 技术参数
-------------------------
1. 最小线宽:小于10nm(8nm available)
2. 加速电压:1-50kV
3. 电子束直径:小于2nm
4. 套刻精度:20nm(mean+2σ)
5. 拼接精度:20nm(mean+2σ)
6. 加工晶圆尺寸:4-8 英寸(standard),12 英寸(option)
7. 描电镜分辨率:小于2nm
----------------------------------
这个2nm是不是就是可加工的大小啊,这个能不能加工我想要的孔了
~
4楼2012-03-12 18:12:59
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