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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ4620胶的剥离
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献

[求助] AZ4620胶的剥离

请教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性，丙酮浸泡2天仍无法去除，有什么好的办法？
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上善若水，止于至善
1楼 2013-04-15 09:41:30
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-04-16 08:52:26
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:03:53
试试相应的去胶液～可否～
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15501697107
2楼2013-04-15 09:57:58
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献
引用回帖:
2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-04-15 09:57:58
试试相应的去胶液～可否～

用相应的AZ700去胶液也试过，浸泡2天+65度水浴+超声都未果。。。
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上善若水，止于至善
3楼2013-04-15 10:01:55
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moonwy

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-04-16 08:52:46
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:03:58
是啊，上次我也是，不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。
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4楼2013-04-15 13:44:02
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献
引用回帖:
4楼: Originally posted by moonwy at 2013-04-15 13:44:02
是啊，上次我也是，不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。

材料容易氧化，用氧轰估计不行。。。
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上善若水，止于至善
5楼2013-04-15 16:52:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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sunch2897: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 非常感谢您的热心回复，结合我的情况看来只能用第三种办法了 2013-04-16 08:53:31
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:04:05
一般ICP刻蚀以后的胶，都碳化或者交联了。用普通的溶剂都是很难去除的。
有几个办法：
1. KOH溶液漂，首先你的器件要不在乎金属离子沾污，电子器件不能用这个方法，同时硅是很容易被KOH腐蚀的，要小心。
2. 浓硫酸泡，直接把光刻胶脱水碳化掉。但是你的片子有容易氧化的材料，要小心。
3. 用更强的去胶液，传统的不行，用二甲亚砜这种通用的强溶剂来试试。

如果材料不耐氧化，那么最好不要用ICP刻蚀这种方法，或者换一种容易去除的胶。
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6楼2013-04-15 17:28:18
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liw5

新虫 (初入文坛)
内容已删除
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世界在变
7楼2013-04-16 09:10:18
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liw5

新虫 (初入文坛)
700里面是NMP,溶解效果估计不会比DMSO差。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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世界在变
8楼2013-04-16 09:13:22
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献
引用回帖:
8楼: Originally posted by liw5 at 2013-04-16 09:13:22
700里面是NMP,溶解效果估计不会比DMSO差。

哦。。。看来二甲亚砜也不行喽
AZ400我们用来显影的，也能去胶？
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上善若水，止于至善
9楼2013-04-16 13:53:44
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