| 查看: 1995 | 回复: 8 | ||||
sunch2897至尊木虫 (文坛精英)
梦小寻
|
[求助]
AZ4620胶的剥离
|
| 请教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性，丙酮浸泡2天仍无法去除，有什么好的办法？ |
回复此楼» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有282人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- ICP刻蚀光刻负胶SU-8
已经有5人回复
- 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。
已经有18人回复
- 碳化光刻胶去除求助！
已经有6人回复
- AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
已经有14人回复
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2013-04-15 09:57:58
sunch2897
至尊木虫 (文坛精英)
梦小寻
- 应助: 1 (幼儿园)
- 贵宾: 0.15
- 金币: 61872.4
- 散金: 2
- 红花: 73
- 沙发: 16
- 帖子: 12836
- 在线: 1219.2小时
- 虫号: 646856
- 注册: 2008-11-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2013-04-15 10:01:55
moonwy
金虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1335.2
- 帖子: 46
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 1937299
- 注册: 2012-08-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
4楼2013-04-15 13:44:02
sunch2897
至尊木虫 (文坛精英)
梦小寻
- 应助: 1 (幼儿园)
- 贵宾: 0.15
- 金币: 61872.4
- 散金: 2
- 红花: 73
- 沙发: 16
- 帖子: 12836
- 在线: 1219.2小时
- 虫号: 646856
- 注册: 2008-11-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
5楼2013-04-15 16:52:30
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 非常感谢您的热心回复，结合我的情况看来只能用第三种办法了 2013-04-16 08:53:31
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:04:05
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 非常感谢您的热心回复，结合我的情况看来只能用第三种办法了 2013-04-16 08:53:31
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:04:05
|
一般ICP刻蚀以后的胶，都碳化或者交联了。用普通的溶剂都是很难去除的。 有几个办法： 1. KOH溶液漂，首先你的器件要不在乎金属离子沾污，电子器件不能用这个方法，同时硅是很容易被KOH腐蚀的，要小心。 2. 浓硫酸泡，直接把光刻胶脱水碳化掉。但是你的片子有容易氧化的材料，要小心。 3. 用更强的去胶液，传统的不行，用二甲亚砜这种通用的强溶剂来试试。 如果材料不耐氧化，那么最好不要用ICP刻蚀这种方法，或者换一种容易去除的胶。 |
6楼2013-04-15 17:28:18
7楼2013-04-16 09:10:18
8楼2013-04-16 09:13:22
sunch2897
至尊木虫 (文坛精英)
梦小寻
- 应助: 1 (幼儿园)
- 贵宾: 0.15
- 金币: 61872.4
- 散金: 2
- 红花: 73
- 沙发: 16
- 帖子: 12836
- 在线: 1219.2小时
- 虫号: 646856
- 注册: 2008-11-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
9楼2013-04-16 13:53:44
