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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

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[求助] AZ4620胶的剥离

请教一下,用AZ4620光刻后,由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性,丙酮浸泡2天仍无法去除,有什么好的办法?
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上善若水,止于至善
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sunch2897

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梦小寻

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2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-04-15 09:57:58
试试相应的去胶液~可否~

用相应的AZ700去胶液也试过,浸泡2天+65度水浴+超声都未果。。。
上善若水,止于至善
3楼2013-04-15 10:01:55
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sunch2897

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4楼: Originally posted by moonwy at 2013-04-15 13:44:02
是啊,上次我也是,不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。

材料容易氧化,用氧轰估计不行。。。
上善若水,止于至善
5楼2013-04-15 16:52:30
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8楼: Originally posted by liw5 at 2013-04-16 09:13:22
700里面是NMP,溶解效果估计不会比DMSO差。

哦。。。看来二甲亚砜也不行喽
AZ400我们用来显影的,也能去胶?
上善若水,止于至善
9楼2013-04-16 13:53:44
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