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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ4620胶的剥离
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献

[求助] AZ4620胶的剥离

请教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性，丙酮浸泡2天仍无法去除，有什么好的办法？
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上善若水，止于至善
1楼 2013-04-15 09:41:30
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moonwy

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-04-16 08:52:46
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:03:58
是啊，上次我也是，不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。
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4楼2013-04-15 13:44:02
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-04-16 08:52:26
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:03:53
试试相应的去胶液～可否～
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15501697107
2楼2013-04-15 09:57:58
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献
引用回帖:
2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-04-15 09:57:58
试试相应的去胶液～可否～

用相应的AZ700去胶液也试过，浸泡2天+65度水浴+超声都未果。。。
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上善若水，止于至善
3楼2013-04-15 10:01:55
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献
引用回帖:
4楼: Originally posted by moonwy at 2013-04-15 13:44:02
是啊，上次我也是，不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。

材料容易氧化，用氧轰估计不行。。。
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上善若水，止于至善
5楼2013-04-15 16:52:30
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