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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献

[求助] AZ4620胶的剥离

请教一下,用AZ4620光刻后,由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性,丙酮浸泡2天仍无法去除,有什么好的办法?
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上善若水,止于至善
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liw5

新虫 (初入文坛)

700里面是NMP,溶解效果估计不会比DMSO差。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
世界在变
8楼2013-04-16 09:13:22
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

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sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢! 2013-04-16 08:52:26
124685887: 金币+1, 欢迎应助,常来交流 2013-04-16 19:03:53
试试相应的去胶液~可否~
15501697107
2楼2013-04-15 09:57:58
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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

文献杰出贡献

引用回帖:
2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-04-15 09:57:58
试试相应的去胶液~可否~

用相应的AZ700去胶液也试过,浸泡2天+65度水浴+超声都未果。。。
上善若水,止于至善
3楼2013-04-15 10:01:55
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moonwy

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
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sunch2897: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢! 2013-04-16 08:52:46
124685887: 金币+1, 欢迎应助,常来交流 2013-04-16 19:03:58
是啊,上次我也是,不过丙酮能洗掉啊。不妨用等离子氧气轰一下。
4楼2013-04-15 13:44:02
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