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sunch2897

至尊木虫 (文坛精英)

梦小寻

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[求助] AZ4620胶的剥离

请教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蚀时间较长导致光刻胶变性，丙酮浸泡2天仍无法去除，有什么好的办法？

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上善若水，止于至善

1楼 2013-04-15 09:41:30

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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunch2897: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 非常感谢您的热心回复，结合我的情况看来只能用第三种办法了 2013-04-16 08:53:31
124685887: 金币+1, 欢迎应助，常来交流 2013-04-16 19:04:05

一般ICP刻蚀以后的胶，都碳化或者交联了。用普通的溶剂都是很难去除的。
有几个办法：
1. KOH溶液漂，首先你的器件要不在乎金属离子沾污，电子器件不能用这个方法，同时硅是很容易被KOH腐蚀的，要小心。
2. 浓硫酸泡，直接把光刻胶脱水碳化掉。但是你的片子有容易氧化的材料，要小心。
3. 用更强的去胶液，传统的不行，用二甲亚砜这种通用的强溶剂来试试。

如果材料不耐氧化，那么最好不要用ICP刻蚀这种方法，或者换一种容易去除的胶。