| 查看: 1396 | 回复: 9 | |||
[交流]
半导体器件仿真工艺参数 求教 交流
|
|||
|
大家好： 我们在做一些器件仿真时，发现层次的掺杂浓度和杂质的注入深度，对仿真结果影响很大，很难较准确地预计我们的器件性能，我们知道foundry对工艺参数是严格保密的，不方便透露，有做过工艺的或者有这方面经验的牛人们来交流，和大家分享下下这方面的经验，比如N+大概能打到多深，PWELL的掺杂水平在什么范围等等。。 不同工艺的技术和指标不一样，我的附件中列了三种不同的工艺下地一部分层次，牛人能解决鄙人的该问题，我另外种种有赏 希望大家踊跃讨论。。。。。。 |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 工艺参数问题.docx
2013-04-11 20:28:03, 16.73 K
» 猜你喜欢
2026年申博-电池方向
已经有8人回复
-
导师各种操作恶心咋办
已经有8人回复
-
2026博士申请求助
已经有5人回复
-
研究生做的很差，你们会让毕业吗？
已经有11人回复
-
求碳排放博导；方向是LCA、生命周期可持续发展以及碳排放
已经有7人回复
-
2026博士或科研助理转27年博士
已经有7人回复
-
急招2026年9月份入学博士
已经有3人回复
-
国自科送审了吗
已经有11人回复
-
博士招生
已经有5人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
坐标上海，找女朋友，感兴趣的来
+1/966
-
广西诚征女友
+1/263
-
郑州大学/南京大学急招2名2026级博士生
+1/182
-
重庆很认真地征女友
+2/170
-
昆明理工大学交通载运车辆方向招收2026年秋季入学博士生2名
+3/159
-
坐标广州，征女友
+2/116
-
山东征女友，坐标济南
+1/67
-
谷歌学术引用量增长
+1/39
-
双一流大学湘潭大学“化工过程模拟与强化”国家地方联合工程研究中心招收博士生
+1/33
-
山东中医药大学2026年招聘有机化学、药物化学等相关方向师资博士后
+1/32
-
希望论文顺利接受
+1/22
-
北京师范大学珠海校区胡德平课题组招生-理论与计算化学方向-2027秋季入学
+1/16
-
南昌大学 物理与材料学院招收2026年申请考核博士1名 化学、材料、催化相关专业
+1/15
-
山东大学集成电路学院招收2026年9月入学的博士研究生
+1/14
-
211高校2026年入学博士名额
+1/8
-
211高校2026年入学博士名额
+1/7
-
深圳大学材料学院“智能分子材料团队”招聘博士后（连续流微反应器方向优先）
+1/6
-
成都中医药大学药学院 谢恬教授招收2026级药物化学，有机合成方向的博士生
+1/4
-
双一流天津工业大学电信学院李鸿强教授招收2026年申请审核制博士
+1/1
-
天津工业大学双一流高校招博士
+1/1
2楼2013-04-12 12:07:15
祝福，祝福，祝福，抢沙发
3楼2013-04-12 18:38:05
4楼2013-04-12 20:13:55
7楼2013-04-12 23:55:01
8楼2013-04-13 08:37:29
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
evanbossccp: 金币+5, 多谢指教 2013-05-08 00:03:10
evanbossccp: 金币+3 2013-07-17 13:48:26
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
evanbossccp: 金币+5, 多谢指教 2013-05-08 00:03:10
evanbossccp: 金币+3 2013-07-17 13:48:26
|
只有在Foundry 做PIE的人才能知道具体的工艺参数。但是现在的CMOS工艺，都是通过多次Ion Implantion完成的，单一工序的条件根本无法用来模拟器件的特性。 现在的Fab的SPICE Model，大部分都是通过实际器件进行参数提取的结果，在深亚微米范围内，半导体器件的模型都不准确。短沟道效应，多重栅效应等，都没有很准确的理论支持。对于深亚微米影响极为严重的沟道漏电流寄生特性，更无法进行准确仿真的。 工艺实践走在器件理论的前面了，需要大家在Fab投入，才能获得这是的器件模型。 |
9楼2013-05-06 23:56:07
10楼2013-05-08 00:03:38
简单回复
亦岳98635楼
2013-04-12 20:35
jwucn6楼
2013-04-12 21:15