24小时热门版块排行榜    

查看: 2324  |  回复: 9

真空涨落

木虫 (小有名气)


[交流] 大家紫外光刻时,使用的最厚的胶都是多少呀?

我使用SUSS光刻机,i7010光刻胶,胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

石墨烯与碳纳米管 石墨烯碳纳米管技术顶级参考 yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2012-11-29 23:17:13
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-11-29 22:41:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)


送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2012-11-29 22:41:59
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了,图形是3-4微米间隔,有什么好方法吗?
3楼2012-11-29 23:17:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
完全没问题啊,你先看看它的说明书吧,网上有,google一下SU 8 2002。
4楼2012-11-30 09:20:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+2, 谢谢推荐 2012-12-01 21:35:12
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2012-11-29 23:17:04
呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了,图形是3-4微米间隔,有什么好方法吗?...

完全没有必要用SU8这样的胶,太贵,而且不容易去胶,不建议使用。KMPR要好一些,但是还是太贵,货期也长,也不建议。
后面工艺是什么工艺,这个要讨论一下,对陡直度要求是怎么产生的?
你这个基本上是1:1的高宽比,按理说shipley的这个胶不会这么差的。
我这儿有一款H1000的胶,厚度是从4~15um的,你可以试试。短信联系。
5楼2012-11-30 15:33:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)


引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-30 15:33:05
完全没有必要用SU8这样的胶,太贵,而且不容易去胶,不建议使用。KMPR要好一些,但是还是太贵,货期也长,也不建议。
后面工艺是什么工艺,这个要讨论一下,对陡直度要求是怎么产生的?
你这个基本上是1:1的高宽 ...

嗯,谢谢,具体请看我新发的帖子。
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5245237&page=1#pid2
6楼2012-12-01 21:34:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)


我是用于高能离子注入掩蔽

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2012-12-03 12:56:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)


做光刻的讨论一下也好呀……

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2012-12-03 12:57:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)


自己继续顶啦~让大家看到~帮忙啦~
讨论一下也可以呀
9楼2013-01-03 21:58:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

长路漫漫

新虫 (初入文坛)


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+10, 很久也没人顶啦,谢谢啦~mua 2013-06-28 10:11:28
参与讨论哇~~
加人气~~
10楼2013-06-28 10:09:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 真空涨落 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 07:09 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] filecode +7 cratir 2026-08-14 11/550 2026-08-15 06:19 by 学员8dgXkO
[考博] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:45 by 4wMiSEwB6436
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:41 by 4wMiSEwB6436
[找工作] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 02:21 by 4wMiSEwB6436
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 7/350 2026-08-15 00:40 by 4wMiSEwB6436
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 00:16 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +5 Ldrop2023 2026-08-13 5/250 2026-08-14 18:48 by ssxclkj
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见