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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 大家紫外光刻时，使用的最厚的胶都是多少呀？
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真空涨落

木虫 (小有名气)

[交流] 大家紫外光刻时，使用的最厚的胶都是多少呀？

我使用SUSS光刻机，i7010光刻胶，胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗？
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1楼2012-11-29 21:15:48
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
完全没问题啊，你先看看它的说明书吧，网上有，google一下SU 8 2002。
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4楼2012-11-30 09:20:47
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2012-11-29 23:17:13
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上，深宽比也很好。
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真空涨落
2楼2012-11-29 22:41:59
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真空涨落

木虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2012-11-29 22:41:59
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上，深宽比也很好。

呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了，图形是3-4微米间隔，有什么好方法吗？
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3楼2012-11-29 23:17:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+2, 谢谢推荐 2012-12-01 21:35:12
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2012-11-29 23:17:04
呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了，图形是3-4微米间隔，有什么好方法吗？...

完全没有必要用SU8这样的胶，太贵，而且不容易去胶，不建议使用。KMPR要好一些，但是还是太贵，货期也长，也不建议。
后面工艺是什么工艺，这个要讨论一下，对陡直度要求是怎么产生的？
你这个基本上是1：1的高宽比，按理说shipley的这个胶不会这么差的。
我这儿有一款H1000的胶，厚度是从4～15um的，你可以试试。短信联系。
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5楼2012-11-30 15:33:05
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