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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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真空涨落

木虫 (小有名气)


[交流] 大家紫外光刻时,使用的最厚的胶都是多少呀?

我使用SUSS光刻机,i7010光刻胶,胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗?
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真空涨落

木虫 (小有名气)


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引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2012-11-29 22:41:59
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了,图形是3-4微米间隔,有什么好方法吗?
3楼2012-11-29 23:17:04
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2012-11-29 23:17:13
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-11-29 22:41:59
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
完全没问题啊,你先看看它的说明书吧,网上有,google一下SU 8 2002。
4楼2012-11-30 09:20:47
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★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+2, 谢谢推荐 2012-12-01 21:35:12
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2012-11-29 23:17:04
呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了,图形是3-4微米间隔,有什么好方法吗?...

完全没有必要用SU8这样的胶,太贵,而且不容易去胶,不建议使用。KMPR要好一些,但是还是太贵,货期也长,也不建议。
后面工艺是什么工艺,这个要讨论一下,对陡直度要求是怎么产生的?
你这个基本上是1:1的高宽比,按理说shipley的这个胶不会这么差的。
我这儿有一款H1000的胶,厚度是从4~15um的,你可以试试。短信联系。
5楼2012-11-30 15:33:05
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