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真空涨落

木虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 4291
帖子: 244
在线: 149.7小时
虫号: 1628088

[交流] 大家紫外光刻时，使用的最厚的胶都是多少呀？

我使用SUSS光刻机，i7010光刻胶，胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗？

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1楼 2012-11-29 21:15:48

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真空涨落

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-30 15:33:05
完全没有必要用SU8这样的胶，太贵，而且不容易去胶，不建议使用。KMPR要好一些，但是还是太贵，货期也长，也不建议。
后面工艺是什么工艺，这个要讨论一下，对陡直度要求是怎么产生的？
你这个基本上是1：1的高宽 ...

嗯，谢谢，具体请看我新发的帖子。
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5245237&page=1#pid2