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大家紫外光刻时,使用的最厚的胶都是多少呀?
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| 我使用SUSS光刻机,i7010光刻胶,胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗? |
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石墨烯与碳纳米管 | 石墨烯碳纳米管技术顶级参考 | yswyx的关于光刻的各种回复 |
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8楼2012-12-03 12:57:40
2楼2012-11-29 22:41:59
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