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真空涨落

木虫 (小有名气)


[交流] 大家紫外光刻时,使用的最厚的胶都是多少呀?

我使用SUSS光刻机,i7010光刻胶,胶厚才3微米侧壁就不陡直了。有什么方法可以参考吗?
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真空涨落

木虫 (小有名气)


我是用于高能离子注入掩蔽

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2012-12-03 12:56:52
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2012-11-29 23:17:13
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

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2楼2012-11-29 22:41:59
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真空涨落

木虫 (小有名气)


送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2012-11-29 22:41:59
SU 8 2000系列或者KMPR都可达到100多微米甚至300微米以上,深宽比也很好。

呃。。我也查到了。。这个是很牛。。。不过我的工艺只需要4微米左右就好了,图形是3-4微米间隔,有什么好方法吗?
3楼2012-11-29 23:17:04
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
完全没问题啊,你先看看它的说明书吧,网上有,google一下SU 8 2002。
4楼2012-11-30 09:20:47
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