24小时热门版块排行榜    

查看: 1382  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zpawl

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 磁性靶材

大家都是怎么用磁控溅射实现磁性靶材的溅射的?  比如Fe Co Ni靶材
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wwnjit

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-12-21 04:37:51
把靶材做薄就好了,大概50μm。
4楼2012-12-19 09:52:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-01-02 06:21:05
zpawl: 金币+1 2013-01-08 09:02:19
这个需要屏蔽罩、磁钢、靶体的特殊设计,可能需要重新改结构。你的设备供应商应该有相应的方案
I'll be back
2楼2012-11-19 14:20:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wajn2012

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-12-21 04:37:44
磁性材料溅射起来不是太好做,有磁性,靶材还不能做的太厚
3楼2012-12-18 09:45:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

magnon

木虫 (小有名气)

请问楼上前辈
有靶材賣到50 μm?   小的也是初心者望请教
5楼2012-12-21 20:29:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 086003食品工程求调剂 +5 淼淼111 2026-03-24 5/250 2026-03-24 20:53 by lailaisimei
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
[考研] 299求调剂 +7 某某某某位 2026-03-21 7/350 2026-03-24 15:24 by cuifj
[考研] 335求调剂 +4 yuyu宇 2026-03-23 5/250 2026-03-23 23:49 by Txy@872106
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 298求调剂 +8 上岸6666@ 2026-03-20 8/400 2026-03-23 11:02 by laoshidan
[考研] 276求调剂 +3 YNRYG 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:31 by 醉在风里
[考研] 352求调剂 +3 大米饭! 2026-03-22 3/150 2026-03-22 23:28 by king123!
[考研] 289求调剂 +7 怀瑾握瑜l 2026-03-20 7/350 2026-03-22 15:57 by ColorlessPI
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 285求调剂 +6 ytter 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:09 by 星空星月
[考研] 280求调剂 +11 咕噜晓晓 2026-03-18 12/600 2026-03-21 22:40 by ACS Nano——
[考研] 材料学硕301分求调剂 +7 Liyouyumairs 2026-03-21 7/350 2026-03-21 22:31 by peike
[考研] 311求调剂 +3 勇敢的小吴 2026-03-20 3/150 2026-03-21 17:40 by ColorlessPI
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 336求调剂 +5 rmc8866 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:24 by 学员8dgXkO
[考研] 材料学学硕080502 337求调剂-一志愿华中科技大学 +4 顺顺顺mr 2026-03-18 5/250 2026-03-21 10:22 by luoyongfeng
[考研] 085601调剂 358分 +3 zzzzggh 2026-03-20 4/200 2026-03-21 10:21 by luoyongfeng
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境专硕,总分308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:39 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
信息提示
请填处理意见