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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 磁控溅射 磁性靶材
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zpawl

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 磁性靶材

大家都是怎么用磁控溅射实现磁性靶材的溅射的？  比如Fe Co Ni靶材
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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2012-10-08 13:21:26
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-01-02 06:21:05
zpawl: 金币+1 2013-01-08 09:02:19
这个需要屏蔽罩、磁钢、靶体的特殊设计，可能需要重新改结构。你的设备供应商应该有相应的方案
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I'll be back
2楼2012-11-19 14:20:27
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wajn2012

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-12-21 04:37:44
磁性材料溅射起来不是太好做，有磁性，靶材还不能做的太厚
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3楼2012-12-18 09:45:10
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wwnjit

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-12-21 04:37:51
把靶材做薄就好了，大概50μm。
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4楼2012-12-19 09:52:18
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magnon

木虫 (小有名气)
请问楼上前辈
有靶材賣到50 μm?   小的也是初心者望请教
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5楼2012-12-21 20:29:34
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wwnjit

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by magnon at 2012-12-21 20:29:34
请问楼上前辈
有靶材賣到50 μm?   小的也是初心者望请教

我在南昌国材买过。。。。
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6楼2012-12-25 20:26:17
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我做过Ni靶的，也没发现有什么困难啊   你的问题在哪？
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
7楼2012-12-26 16:33:06
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vickiazhang

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-01-02 06:21:20
引用回帖:
6楼: Originally posted by wwnjit at 2012-12-25 20:26:17
我在南昌国材买过。。。。...

据我所知，靶材能做得很薄的也就是电镜上用的金、铂的靶材，最薄也就是0.3mm，50微米的确实是没怎么见过啊，那么薄的是箔片吧？
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8楼2012-12-28 09:50:42
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zpawl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-26 16:33:06
我做过Ni靶的，也没发现有什么困难啊   你的问题在哪？

我想在低功率，低气压的条件下溅射，做的是Co靶
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9楼2012-12-30 13:25:17
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zpawl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wwnjit at 2012-12-25 20:26:17
我在南昌国材买过。。。。...

请问是什么靶材？Ni 吗？
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10楼2012-12-30 13:26:01
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