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zpawl

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 磁性靶材

大家都是怎么用磁控溅射实现磁性靶材的溅射的?  比如Fe Co Ni靶材
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zpawl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-26 16:33:06
我做过Ni靶的,也没发现有什么困难啊   你的问题在哪?

我想在低功率,低气压的条件下溅射,做的是Co靶
9楼2012-12-30 13:25:17
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zpawl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wwnjit at 2012-12-25 20:26:17
我在南昌国材买过。。。。...

请问是什么靶材?Ni 吗?
10楼2012-12-30 13:26:01
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