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zpawl

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 磁性靶材

大家都是怎么用磁控溅射实现磁性靶材的溅射的?  比如Fe Co Ni靶材
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-01-02 06:21:05
zpawl: 金币+1 2013-01-08 09:02:19
这个需要屏蔽罩、磁钢、靶体的特殊设计,可能需要重新改结构。你的设备供应商应该有相应的方案
I'll be back
2楼2012-11-19 14:20:27
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