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cooltec89

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀FeNi合金薄膜

磁控溅射镀FeNi合金薄膜,是用一块合金靶好呢,还是用Fe靶和Ni靶两块好呢?有什么区别
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wajn2012

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

通过控制合金靶材中铁镍的配比来控制独处膜的比例,铁、镍单质靶材镀膜,镀出来膜的比例不好控制
3楼2012-12-10 12:03:00
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