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如何从磁控溅射靶的溅射电流-溅射电压特性中选取工作区间?
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vincentwz
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[交流]
如何从磁控溅射靶的溅射电流-溅射电压特性中选取工作区间?
据了解,用磁控溅射做金属膜前,需要先做靶在不同气压下的溅射电流-溅射电压扫描,然后根据得到的多条IV曲线选择溅射时的溅射电流范围,请问应该选择哪一部分?为什么这么选择?
[
Last edited by vincentwz on 2012-9-6 at 14:04
]
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