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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 如何从磁控溅射靶的溅射电流-溅射电压特性中选取工作区间？
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 如何从磁控溅射靶的溅射电流-溅射电压特性中选取工作区间？

据了解，用磁控溅射做金属膜前，需要先做靶在不同气压下的溅射电流-溅射电压扫描，然后根据得到的多条IV曲线选择溅射时的溅射电流范围，请问应该选择哪一部分？为什么这么选择？

[ Last edited by vincentwz on 2012-9-6 at 14:04 ]
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1楼 2012-09-06 13:19:08
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