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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

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[交流] 如何从磁控溅射靶的溅射电流-溅射电压特性中选取工作区间？

据了解，用磁控溅射做金属膜前，需要先做靶在不同气压下的溅射电流-溅射电压扫描，然后根据得到的多条IV曲线选择溅射时的溅射电流范围，请问应该选择哪一部分？为什么这么选择？

[ Last edited by vincentwz on 2012-9-6 at 14:04 ]

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1楼 2012-09-06 13:19:08

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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