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反应溅射电离气体及溅射产物
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| 用直流磁控反应溅射生长AlN薄膜，氩气、氮气通入后，气体电离，氮气都可能电离生成哪些粒子？氩气电离后轰击铝靶，轰击下来的铝粒子都有哪些粒子？其中，在AlN薄膜成膜过程中，电离后的氮粒子、及轰击下来的铝粒子中的哪些组分最有利于AlN薄膜生长？ |
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