版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3846)
>虫友互识 (303)
>文献求助 (279)
>导师招生 (123)
>基金申请 (123)
>论文投稿 (74)
>休闲灌水 (65)
>博后之家 (59)
>招聘信息布告栏 (55)
>论文道贺祈福 (49)
>硕博家园 (38)
>找工作 (38)
>考博 (30)
>教师之家 (29)
>公派出国 (24)
>考研 (21)

大水杯

木虫 (著名写手)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 3889.1
帖子: 2898
在线: 864.9小时
虫号: 1501401

[交流] 反应溅射电离气体及溅射产物

用直流磁控反应溅射生长AlN薄膜，氩气、氮气通入后，气体电离，氮气都可能电离生成哪些粒子？氩气电离后轰击铝靶，轰击下来的铝粒子都有哪些粒子？其中，在AlN薄膜成膜过程中，电离后的氮粒子、及轰击下来的铝粒子中的哪些组分最有利于AlN薄膜生长？

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射

» 猜你喜欢

稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有13人回复
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有6人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有147人回复
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有0人回复
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有0人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议已经有4人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额已经有1人回复
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？已经有0人回复
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据已经有0人回复
招生--河北大学26年秋季入学博士已经有1人回复
求助一篇MEMS散热器件文献已经有0人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2012-08-20 23:19:22

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

反应磁控溅射自偏压太高是问什么？已经有5人回复
磁控溅射能起辉，但不能沉积已经有21人回复
求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已经有9人回复
射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体已经有11人回复
磁控溅射与反应磁控溅射已经有18人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
做磁控溅射的朋友请进已经有10人回复
【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题已经有4人回复
【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压已经有12人回复

点击这里搜索更多相关资源

科研从小木虫开始，人人为我，我为人人

相关版块跳转我要订阅楼主大水杯的主题更新