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大水杯

木虫 (著名写手)


[交流] 反应溅射电离气体及溅射产物

用直流磁控反应溅射生长AlN薄膜,氩气、氮气通入后,气体电离,氮气都可能电离生成哪些粒子?氩气电离后轰击铝靶,轰击下来的铝粒子都有哪些粒子?其中,在AlN薄膜成膜过程中,电离后的氮粒子、及轰击下来的铝粒子中的哪些组分最有利于AlN薄膜生长?
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