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磁控溅射镀膜机腔体清理方法 已有1人参与
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| 长时间镀膜后，腔体内比较脏，对抽气速率、与薄膜性能有什么影响，怎样清理比较好，NaOH溶液浸泡可以吗，请指教 |
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dxf930
金虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2012-07-30 08:52:06