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磁控溅射镀膜机腔体清理方法
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注册: 2012-05-07
专业: 金属功能材料
[交流]
磁控溅射镀膜机腔体清理方法
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长时间镀膜后,腔体内比较脏,对抽气速率、与薄膜性能有什么影响,怎样清理比较好,NaOH溶液浸泡可以吗,请指教
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注册: 2010-03-12
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
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收获的日子早一天也是不行的!等待...追求...
2楼
2012-07-30 08:52:06
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