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perfectmao

银虫 (小有名气)


[交流] MOS器件中,为什么生长HfO2用ALD,而不用MBE。

MOS器件中,为什么生长HfO2用ALD,而不用MBE。
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perfectmao

银虫 (小有名气)


引用回帖:
11楼: Originally posted by tangshi141 at 2012-07-14 22:37:45
说说自己的看法 有问题还请大家指正 MBE均匀性是好 但是慢而且贵 又不是做材料开发 做半导体器件ALD的均匀性足够了

奥。谢谢
54楼2012-07-19 14:48:45
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