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yuanming88

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀BFO,峰的位置对不上是什么原因?

磁控溅射镀BFO,峰的位置对不上是什么原因?有什么好的方法去除杂峰?
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taochao

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
7楼: Originally posted by ftfxiaoyu at 2012-02-21 18:40:06
很正常,BFO中每种元素溅射产率不一样,本来打出来的就不一样多。并且在粒子到达衬底后,还需要结合成需要的化学状态,也可能一些易挥发元素跑掉了。各原子还要重新排列才能形成需要的相,因此峰对不上很正常。需调 ...

请问,遇到这种情况,我们可以哪些操作来对工艺进行调整?
10楼2013-03-05 14:13:35
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chanway_0703

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 欢迎到功能材料版 2012-04-09 22:20:54
不明白你所谓的峰对不上是什么意思?
磁控溅射镀膜的话,化学计量比跟靶材肯定有一定差别;
再说,镀出来的薄膜也可能存在多相(四方相、菱方相…);
如果能做出单晶的BFO薄膜,那只存在某一晶向的峰,跟块体材料的峰肯定是对不上的。
2楼2012-02-16 19:28:37
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yuanming88

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by chanway_0703 at 2012-02-16 19:28:37:
不明白你所谓的峰对不上是什么意思?
磁控溅射镀膜的话,化学计量比跟靶材肯定有一定差别;
再说,镀出来的薄膜也可能存在多相(四方相、菱方相…);
如果能做出单晶的BFO薄膜,那只存在某一晶向的峰,跟块体 ...

就是峰都平移了,和标准谱图对不上。。。。。
3楼2012-02-17 13:02:04
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wwyygg0520

新虫 (文坛精英)

头大不怕雨淋

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-04-09 22:21:10
如果是都向一个方向平移同样的位置没有关系,这是样品面没有对齐造成的零点误差。
4楼2012-02-17 13:47:30
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