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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 磁控溅射镀BFO，峰的位置对不上是什么原因？
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yuanming88

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀BFO，峰的位置对不上是什么原因？

磁控溅射镀BFO，峰的位置对不上是什么原因？有什么好的方法去除杂峰？
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1楼 2012-02-15 19:26:33
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chanway_0703

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 欢迎到功能材料版 2012-04-09 22:20:54
不明白你所谓的峰对不上是什么意思？
磁控溅射镀膜的话，化学计量比跟靶材肯定有一定差别；
再说，镀出来的薄膜也可能存在多相（四方相、菱方相…）；
如果能做出单晶的BFO薄膜，那只存在某一晶向的峰，跟块体材料的峰肯定是对不上的。
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2楼2012-02-16 19:28:37
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yuanming88

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by chanway_0703 at 2012-02-16 19:28:37:
不明白你所谓的峰对不上是什么意思？
磁控溅射镀膜的话，化学计量比跟靶材肯定有一定差别；
再说，镀出来的薄膜也可能存在多相（四方相、菱方相…）；
如果能做出单晶的BFO薄膜，那只存在某一晶向的峰，跟块体 ...

就是峰都平移了，和标准谱图对不上。。。。。
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3楼2012-02-17 13:02:04
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wwyygg0520

新虫 (文坛精英)

头大不怕雨淋

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-04-09 22:21:10
如果是都向一个方向平移同样的位置没有关系，这是样品面没有对齐造成的零点误差。
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4楼2012-02-17 13:47:30
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yuanming88

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by wwyygg0520 at 2012-02-17 13:47:30:
如果是都向一个方向平移同样的位置没有关系，这是样品面没有对齐造成的零点误差。

那有什么办法修正呢
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5楼2012-02-20 16:26:17
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wwyygg0520

新虫 (文坛精英)

头大不怕雨淋

【答案】应助回帖

内容已删除
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6楼2012-02-20 20:25:31
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴 希望继续为功能材料多做贡献 2012-04-09 22:21:32
很正常，BFO中每种元素溅射产率不一样，本来打出来的就不一样多。并且在粒子到达衬底后，还需要结合成需要的化学状态，也可能一些易挥发元素跑掉了。各原子还要重新排列才能形成需要的相，因此峰对不上很正常。需调整制备工艺。
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7楼2012-02-21 18:40:06
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by yuanming88 at 2012-02-16 17:02:04:
就是峰都平移了，和标准谱图对不上。。。。。

平移很正常，关键是平移了多少，小于1度的平移，可能是由于strain引起的
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8楼2012-02-23 23:35:32
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crocodilecel

木虫 (著名写手)
请问你的BFO薄膜是什么颜色的？能贴张图看看嘛？谢谢
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9楼2012-04-09 16:44:53
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taochao

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ftfxiaoyu at 2012-02-21 18:40:06
很正常，BFO中每种元素溅射产率不一样，本来打出来的就不一样多。并且在粒子到达衬底后，还需要结合成需要的化学状态，也可能一些易挥发元素跑掉了。各原子还要重新排列才能形成需要的相，因此峰对不上很正常。需调 ...

请问，遇到这种情况，我们可以哪些操作来对工艺进行调整？
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10楼2013-03-05 14:13:35
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