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大家有谁使用磁控溅射镀过Nb2O5的吗？
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大家有谁使用磁控溅射镀过Nb2O5的吗？ 我现在很郁闷，我使用磁控溅射用FTO做衬底镀Nb2O5,测XRD显示只在10多度附近有个峰强，其余的峰强都是FTO的。今天又使用玻璃镀了下，发现基本上都是玻璃的峰，并没有什么Nb2O5的峰。已经加热到500度的温度，按说应该已经结晶了。我看别人的文献中做的Nb2O5是非晶的，我原来准备用Nb2O5做为半导体的N型，在Nb2O5上面镀个P型的组成P-N结。但是现在镀出来的Nb2O5,在XRD中一直显示没有属于它的峰强，我真不知道现在的Nb2O5还能不能做成P-N结中N型了。希望大家帮个忙，帮我分析下，我现在还继续坚持不坚持用Nb2O5了。 |
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