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dalianq

金虫 (小有名气)

[求助] 大家有谁使用磁控溅射镀过Nb2O5的吗?

大家有谁使用磁控溅射镀过Nb2O5的吗?
我现在很郁闷,我使用磁控溅射用FTO做衬底镀Nb2O5,测XRD显示只在10多度附近有个峰强,其余的峰强都是FTO的。今天又使用玻璃镀了下,发现基本上都是玻璃的峰,并没有什么Nb2O5的峰。已经加热到500度的温度,按说应该已经结晶了。我看别人的文献中做的Nb2O5是非晶的,我原来准备用Nb2O5做为半导体的N型,在Nb2O5上面镀个P型的组成P-N结。但是现在镀出来的Nb2O5,在XRD中一直显示没有属于它的峰强,我真不知道现在的Nb2O5还能不能做成P-N结中N型了。希望大家帮个忙,帮我分析下,我现在还继续坚持不坚持用Nb2O5了。
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上海四缤

新虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★
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nofrunolif(金币+2): 鼓励新虫来本版交流 2012-01-08 13:13:24
做一下退火处理再测XRD看看是否如你所说?另外FTO在镀膜前要做改性处理和原子级别的深度光清洗。

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3楼2012-01-08 12:08:10
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上海四缤

新虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

可以用紫外臭氧清洗仪进行改性和深度光清洗,另外退火温度、时间考虑好!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2012-01-08 12:47:29
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