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215817861金虫 (小有名气)
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磁控溅射镀出的膜周围导电,膜表面不导电。
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问题如题,我的参数是Ar30sccm,温度500度,溅射频率65W,靶间距75mm,溅射压强1Pa,溅射时间50min。 小弟在这里谢过各位高手啦 |
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