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215817861金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射镀出的膜周围导电，膜表面不导电。
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问题如题，我的参数是Ar30sccm，温度500度，溅射频率65W，靶间距75mm，溅射压强1Pa，溅射时间50min。 小弟在这里谢过各位高手啦 |
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