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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀出的膜周围导电，膜表面不导电。
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215817861

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀出的膜周围导电，膜表面不导电。

问题如题，我的参数是Ar30sccm，温度500度，溅射频率65W，靶间距75mm，溅射压强1Pa，溅射时间50min。
小弟在这里谢过各位高手啦
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1楼 2011-09-28 09:46:41
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215817861

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2011-10-06 18:27:06:
具体是什么薄膜啊？ 膜周围是指薄膜的边缘吗？

是导电薄膜，我要得到低电阻率，嗯，膜周围指的是玻璃的边缘（即四方形玻璃的切割面）
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3楼2011-10-06 22:21:38
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

具体是什么薄膜啊？ 膜周围是指薄膜的边缘吗？
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2楼2011-10-06 18:27:06
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

215817861(金币+5): 谢谢，感觉你说的很有道理，我建立了个磁控溅射群，能不能请你进来？群号：81959334 2011-10-08 10:50:54
一般情况下，四方形玻璃的切割面也会被溅射沉积上一层薄膜。薄膜表面不导电可能由于是高温溅射时膜表面有些氧化，或者也有可能你取出薄膜时，薄膜还有一定的温度导致表面被氧化。

薄膜表面不导电是由薄膜成分决定的，你可以进行XRD及EDS测试分析一下。如果你用四探针测电阻的话薄膜太薄的话会对测试结果有影响。
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4楼2011-10-08 10:14:06
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