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hukun34262金虫 (小有名气)
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磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？
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磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？ 感觉界面不清楚，而且用SEM观察断面的过程中发现有很大的颗粒附着在薄膜截面上，另外薄膜很容易从衬底剥离。  |
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2楼2012-03-11 20:34:28
finetx
铜虫 (小有名气)
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