| 查看: 1362 | 回复: 2 | ||
hukun34262金虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？
|
|
磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？ 感觉界面不清楚，而且用SEM观察断面的过程中发现有很大的颗粒附着在薄膜截面上，另外薄膜很容易从衬底剥离。  |
回复此楼» 猜你喜欢
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
磁控溅射在衬底上制备薄膜时会不会对衬底造成损伤？损伤层多厚？如何检测？如何避免？
已经有6人回复
- 磁控溅射制备氮化铝薄膜
已经有7人回复
- 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？
已经有7人回复
- 磁控溅射制备CZTS薄膜
已经有6人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重
已经有6人回复
- 在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题
已经有5人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
已经有32人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
2楼2012-03-11 20:34:28
finetx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 130.1
- 散金: 30
- 帖子: 111
- 在线: 48.8小时
- 虫号: 1325316
- 注册: 2011-06-17
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2014-06-10 15:15:28
