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hukun34262

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专业: 金属材料的力学行为

[求助] 磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？

磁控溅射制备多层膜时出现很大颗粒以及很容易剥落的问题如何解决？
感觉界面不清楚，而且用SEM观察断面的过程中发现有很大的颗粒附着在薄膜截面上，另外薄膜很容易从衬底剥离。

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1楼 2011-12-23 14:22:07

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yanhurui

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

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hukun34262(金币+10): ★★★很有帮助 2012-03-12 09:58:12

磁控溅射生长的薄膜很容易从衬底上剥离，这很正常吧。出现很大的颗粒估计是因为材料的生长方式是岛状生长，或者是层状生长加岛状生长，在工艺参数和生长时间没有掌握好的时候，会出现一个一个的岛状颗粒。

2楼2012-03-11 20:34:28

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finetx

铜虫 (小有名气)

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专业: 无机非金属类光电信息与功

请适当加大基体偏压，过渡层时间可以加长一点点

三人行必有我师

3楼2014-06-10 15:15:28

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