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henry2651金虫 (正式写手)
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请教磁控溅射（PVD）溅射铜膜时对腔室的污染问题
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| 前段时间听说溅射制备铜薄膜时会对腔室产生较大的污染，比其他薄膜材料的污染大，有清楚的帮忙解释一下，或是否有这回事，先谢过！ |
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xiangmengli
金虫 (正式写手)
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2楼2011-11-23 15:04:50
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