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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】磁控溅射的相关问题
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wade1009

新虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】磁控溅射的相关问题

大家好，弱弱的问一句，对靶磁控溅射怎么个用法？两个靶肯定同时起辉吗？没试过还，两个靶不同呢？还有谁溅射过铁钴镍材料？用直流电源，电流很不稳定，来回晃动特别厉害，不一会电源就冒烟了……请教了，谢谢
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1楼 2011-04-10 16:00:10
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)
★ ★
wade1009(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-04-10 19:24:28
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:05:09
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:07:07
铁磁性靶可以直流起辉吗？我们做磁性一般用射频
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2楼2011-04-10 16:22:57
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380677864

木虫 (正式写手)
★
wade1009(金币+1):谢谢参与
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:07:20
分直流永磁靶、直流电磁靶、还有射频电磁靶的啊？
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3楼2011-04-10 16:27:23
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wade1009

新虫 (初入文坛)

溅射

引用回帖:
Originally posted by 380677864 at 2011-04-10 16:27:23:
分直流永磁靶、直流电磁靶、还有射频电磁靶的啊？

不明白你说的，可以详细点吗？用过对靶吗？
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4楼2011-04-10 22:08:45
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wade1009

新虫 (初入文坛)

起辉

引用回帖:
Originally posted by zhangwj at 2011-04-10 16:22:57:
铁磁性靶可以直流起辉吗？我们做磁性一般用射频

可以的，但是具体条件我没做过，不清楚，你做过什么？
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5楼2011-04-10 22:09:43
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Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-15 08:25:06
钴和镍用直流还行，铁靶厚的话用直流很难，我镀铁必须用射频
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6楼2011-11-14 22:16:34
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