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【请教】磁控溅射的相关问题
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wade1009
新虫
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[交流]
【请教】磁控溅射的相关问题
大家好,弱弱的问一句,对靶磁控溅射怎么个用法?两个靶肯定同时起辉吗?没试过还,两个靶不同呢?还有谁溅射过铁钴镍材料?用直流电源,电流很不稳定,来回晃动特别厉害,不一会电源就冒烟了……请教了,谢谢
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2011-04-10 16:00:10
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zhangwj
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):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-04-10 19:24:28
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:05:09
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:07:07
铁磁性靶可以直流起辉吗?我们做磁性一般用射频
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2楼
2011-04-10 16:22:57
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380677864
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wade1009(金币
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):谢谢参与
wade1009(金币+1): 2011-04-10 22:07:20
分直流永磁靶、直流电磁靶、还有射频电磁靶的啊?
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2011-04-10 16:27:23
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溅射
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Originally posted by
380677864
at 2011-04-10 16:27:23:
分直流永磁靶、直流电磁靶、还有射频电磁靶的啊?
不明白你说的,可以详细点吗?用过对靶吗?
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4楼
2011-04-10 22:08:45
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wade1009
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起辉
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Originally posted by
zhangwj
at 2011-04-10 16:22:57:
铁磁性靶可以直流起辉吗?我们做磁性一般用射频
可以的,但是具体条件我没做过,不清楚,你做过什么?
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5楼
2011-04-10 22:09:43
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Maxthonhua
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):给个红包,谢谢回帖
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-15 08:25:06
钴和镍用直流还行,铁靶厚的话用直流很难,我镀铁必须用射频
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6楼
2011-11-14 22:16:34
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