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【请教】磁控溅射的相关问题
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| 大家好，弱弱的问一句，对靶磁控溅射怎么个用法？两个靶肯定同时起辉吗？没试过还，两个靶不同呢？还有谁溅射过铁钴镍材料？用直流电源，电流很不稳定，来回晃动特别厉害，不一会电源就冒烟了……请教了，谢谢 |
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