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磁控能否镀厚的金属薄膜
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磁控镀膜是否能够镀很厚的薄膜？比如说镀几微米厚的铝(衬底是硅片)。连续长时间的镀膜可能会让靶材过热，这样的话，我分几次镀，每次镀几百纳米，这样子是否可行？成膜质量有保证嘛？ [ Last edited by gl_zju on 2011-8-7 at 09:41 ] |
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2楼2011-08-23 18:24:28
freeren896
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帮顶 3楼2011-08-23 21:01:31
王令111
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4楼2011-08-26 13:08:18
5楼2011-08-30 10:14:41