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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控能否镀厚的金属薄膜
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gl_zju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控能否镀厚的金属薄膜

磁控镀膜是否能够镀很厚的薄膜？比如说镀几微米厚的铝(衬底是硅片)。连续长时间的镀膜可能会让靶材过热，这样的话，我分几次镀，每次镀几百纳米，这样子是否可行？成膜质量有保证嘛？

[ Last edited by gl_zju on 2011-8-7 at 09:41 ]
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1楼 2011-08-07 09:30:20
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王大强

银虫 (初入文坛)
不知道，帮顶，同问
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硕士博士圣斗士
2楼2011-08-23 18:24:28
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freeren896

木虫 (小有名气)
帮顶
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3楼2011-08-23 21:01:31
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-08-26 14:03:41
gl_zju(金币+2): 2011-08-26 20:11:01
分镀是可以的,但是结合力方面不一定有那么好
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活着的意义
4楼2011-08-26 13:08:18
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ljc8828

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

gl_zju(金币+3): 2011-08-30 11:03:34
首先你是要保证结合力，还是要有一个比较好的粗糙度，磁控溅射镀的粗糙度好，但要调节试验参数，比如靶基距，功率，时间等等，这样的话结合力就没法保证，如果分好几次做，会影响膜层的结构，这个你得好好考虑考虑。
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5楼2011-08-30 10:14:41
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