应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理
81/1返回列表
查看: 2060  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yss2790

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜成分偏了如何处理

我用的是BaTiO3的靶材做的磁控溅射镀膜，但是镀出来的膜是Ba2Ti5O12，请问我怎样才能把比例调正确？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-04-18 10:34:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-18 16:32:32
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异
赞一下 回复此楼
2楼2011-04-18 13:13:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)
xjajx: 提高电压，降气压 2011-04-18 17:13:12
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-18 13:13:21:
不同元素溅射速率不同。可以提高电压降气压，增加溅射速度，减少溅射差异

请问 “电压降气压”是什么？
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-04-18 16:33:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-22 14:23:56
降低反应气压，提高反应电压，理论上可以提高单次溅射能量；溅射能量越大，各种元素的溅射速率就越接近
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-21 09:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by ppttcug at 2011-04-21 09:35:19:
降低反应气压，提高反应电压，理论上可以提高单次溅射能量；溅射能量越大，各种元素的溅射速率就越接近

我要做的是BTO，但是出来的是Ba2Ti5O12这个偏得有点大，如何是好啊？
赞一下 回复此楼
5楼2011-04-22 14:25:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

doublewei

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

yss2790(金币+2): 2011-04-23 19:27:11
其实你可以按照现在这个溅射比例再重新做一个靶，出来的元素比例就差不多了
赞一下 回复此楼
6楼2011-04-22 19:45:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yss2790

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by doublewei at 2011-04-22 19:45:02:
其实你可以按照现在这个溅射比例再重新做一个靶，出来的元素比例就差不多了

还有没有其他的方法
赞一下 回复此楼
7楼2011-04-23 19:30:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

依旧笑东风

新虫 (初入文坛)
楼主问题解决了吗？我也遇到了这样的问题，请问你后来是怎么处理的?
赞一下 回复此楼
8楼2018-06-04 16:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yss2790 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +17 基诺咪客 2026-08-17 22/1100 2026-08-20 16:47 by 基诺咪客
[基金申请] 时间戳又变了 +11 wuchongjun 2026-08-20 14/700 2026-08-20 16:26 by 虫友是什么虫
[基金申请] 科研孤儿太难了 +4 我4大白菜 2026-08-20 4/200 2026-08-20 15:58 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +9 zju2000 2026-08-16 10/500 2026-08-20 15:56 by Leogzhya
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+3 snowwithsea 2026-08-19 12/600 2026-08-20 15:56 by lfy8008
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +16 Ldrop2023 2026-08-13 20/1000 2026-08-20 11:07 by xskun
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 21/1050 2026-08-20 10:37 by Vivilian
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +14 kkkl_v 2026-08-19 15/750 2026-08-20 08:21 by sunzitan
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭